Magnetiškai išplatintas siurblys, CXF-200/1401E, Vandens aušinimas, Laive

Magnetiniu būdu levituoti molekuliniai siurbliai yra siurbliai, kurių veleną palaiko magnetinė jėga.
Magnetiškai levituoti serijiniai molekuliniai siurbliai yra vakuuminio generavimo įranga, sukurta KYKY, kad atitiktų taikymo reikalavimus šiuolaikinės puslaidininkių gamybos, lustų gamybos, pramoninio dengimo ir mokslinių prietaisų srityse.

Technologijos:

• Magnetinio guolio valdymo technologija: Priimtas elektromagnetinis yra 5 ašių magnetinis levitacija. Ši konstrukcija gali turėti dinamišką atsaką ir laiku sureguliuoti naudojant dinamišką aktyvios uždaros grandinės magnetinės pakabos valdymo technologiją, pagrįstą pažangia tarptautine valdymo teorija, kad būtų garantuoti tokie reikšmingi greitaeigio veleno pranašumai kaip stabilus ir patikimas veikimas.
• Variklio pavaros valdymo technologija: Didelio efektyvumo didelio greičio nuolatinės srovės variklis ir servo valdymo sistema yra taikomi serijiniams magnetiškai levituotiems siurbliams, kad būtų užtikrinta maksimali variklio energija ir automatiškai kompensuotas veleno sukimosi greitis, taip užtikrinant stabilų paleidimą, patikimą veikimą ir automatinį reguliavimą. dinaminės energijos funkcija.
• Anglies pluošto kompozicinio rotoriaus technologija: Serijinių magnetinių pakabos molekulinių siurblių turbo rotoriai gaminami sumaišant didelio stiprumo aliuminio lydinį ir lengvą anglies pluoštą. Palyginti su visais aliuminio lydinio rotoriais, turbo rotoriai pasižymi dideliu svorio sumažėjimu ir stiprumo padidėjimu, todėl pasiekiami didelio sukimosi greičio, didelio našumo ir didelio patikimumo tikslai.
• Korozijai atspari technologija: Serijinių magnetinių suspensijų molekulinių siurblių kamerų dalių paviršiai yra apdorojami specialiu būdu, kad paviršiai ilgą laiką būtų atsparūs korozijai, kurią sukelia korozinės dujos puslaidininkių gamybos procesuose. Be to, tokios inertinės dujos kaip N2 yra pilnai užpildytos siurblių velenuose, siekiant apsaugoti siurblių mažas vakuumo dalis, kad būtų užtikrinta stabilaus dujų išmetimo funkcija ilgą laiką.
• Šildymo temperatūros reguliavimo sistema: Serijiniai magnetiškai levituoti molekuliniai siurbliai turi elektrinį šildytuvą ir temperatūros reguliatorių, kad veikimo metu būtų galima stebėti ir valdyti aušinimo vandenį, oro kaulo šildymą, elektrinį šildymą ir šilumą, perduodamą apsauginėmis dujomis, siurblių temperatūrą. kai kurios vertės ilgam laikui, kai kurios dujinės medžiagos normalioje temperatūroje nėra paverčiamos kietomis medžiagomis ir nėra nusodinamos siurbliuose, todėl gali būti įvykdyti reikalavimai, taikomi specialiam tokiam ėsdinimo procesui.

Privalumai:

1. Nulinė trintis veikimo metu ir mažos energijos sąnaudos

2. Lengva įsigyti tikrai švarų aukšto vakuumo ir ypač aukštą vakuumą be siurblių tepimo

3. Galimybė ilgą laiką išskirti korozines dujas

4. Didelis saugumas ir ilgas tarnavimo laikas, nes guoliai yra apsaugoti tiksliais keraminiais rutuliais

5. energijos generavimo funkcija staigaus maitinimo išjungimo atveju

Specifikacijos:

Programos:

Magnetiškai levituoti serijiniai molekuliniai siurbliai daugiausia naudojami puslaidininkių gamybos, spaustukų gamybos, pramoninio dengimo ir mokslinių prietaisų srityse, ypač korozinių dujų, esančių ėsdinimo, CVD, PVD ir jonų implantacijoje, ir dujų, lengvai koaguliuojamų normalioje temperatūroje, gavybai.