Magnetiškai skleidžiamas siurblys, CXF-320/3001E, vandens aušinimas, ISO-F, laive
Magnetiniu būdu levituoti molekuliniai siurbliai yra siurbliai, kurių veleną palaiko magnetinė jėga.
Magnetiškai levituoti serijiniai molekuliniai siurbliai yra vakuuminio generavimo įranga, sukurta KYKY, kad atitiktų taikymo reikalavimus šiuolaikinės puslaidininkių gamybos, lustų gamybos, pramoninio dengimo ir mokslinių prietaisų srityse.
Privalumai:
1. Nulinė trintis darbo metu ir mažos energijos sąnaudos
2. Lengva įsigyti tikrai švarų aukšto vakuumo ir ypač aukštą vakuumą be siurblių tepimo
3. Galintys ilgą laiką išskirti korozines dujas
4. Didelis saugumas ir ilgas tarnavimo laikas dėl guolių apsaugos preciziškais keraminiais rutuliais
5. elektros energijos gamybos funkcija staigaus išjungimo atveju
6. Be trinties
7. Be taršos
8. Nemokama priežiūra
9. Maža vibracija
10. sumontuota bet kokia kryptimi.
Programos:
Magnetiškai levituoti serijiniai molekuliniai siurbliai daugiausia naudojami puslaidininkių gamybos, spaustukų gamybos, pramoninio dengimo ir mokslinių prietaisų srityse, ypač korozinių dujų, esančių ėsdinimo, CVD, PVD ir jonų implantacijoje, ir dujų, lengvai koaguliuojamų normalioje temperatūroje, gavybai.
Specifikacijos:
| Modelis | CXF-320/3001E |
| Siurblio greitis (l/s, oras) | 3200 |
| Suspaudimo santykis | > 1 × 108 |
| Galutinis vakuumas (Pa) | ≤5 × 10-7 |
| Įleidimo flanšas | ISO-F 320 |
| Išleidimo flanšas | KF 40 |
| Sukimosi greitis (rpm) | 24000 |
| Paleidimo laikas (min.) | 12 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Atsarginis siurblys (L/s) | 15 |
| Montavimas arba orientacija | Bet koks |
| Aušinimo metodas | Vanduo |
| Svoris (kg) (su valdikliu) | 75 |
Technologijos:
- Magnetinio guolio valdymo technologija: 5 ašių magnetinis levitacija, pagrįsta pažangia tarptautine valdymo teorija, siekiant užtikrinti tokius didelius greitojo veleno pranašumus kaip stabilus ir patikimas veikimas.
- Variklio pavaros valdymo technologija: Didelio efektyvumo didelio greičio nuolatinės srovės variklis ir servo valdymo sistema, turinti didžiausią variklio energiją ir automatiškai kompensuojanti veleno sukimosi greitį, taip užtikrinant stabilų paleidimą, patikimą veikimą ir automatinę dinaminės energijos reguliavimo funkciją.
- Anglies pluošto kompozicinio rotoriaus technologija: Pagamintas iš didelio stiprumo aliuminio lydinio ir lengvo anglies pluošto. pasižymi dideliu svorio sumažėjimu ir stiprumo pagerėjimu, kad būtų pasiekti didelio sukimosi greičio, didelio našumo ir didelio patikimumo tikslai.
- Korozijai atspari technologija: Dalių paviršiai kamerose yra apdorojami specialiu būdu, todėl paviršiai ilgą laiką gali atsispirti korozijai, kurią sukelia korozinės dujos puslaidininkių gamybos procesuose. Be to, inertinės dujos, tokios kaip N2, yra visiškai užpildytos siurblių velenuose, kad būtų apsaugotos žemo vakuumo dalys siurbliuose, kad būtų užtikrinta stabilaus dujų išmetimo funkcija ilgą laiką.
- Šildymo temperatūros reguliavimo sistema: įrengtas elektrinis šildytuvas ir temperatūros reguliatorius, aušinimo vanduo, oro kaulo šildymas, elektrinis šildymas ir šiluma, kurią perduoda apsauginės dujos, gali būti stebima ir kontroliuojama veikimo metu, temperatūra siurbliuose gali būti išlaikyta tam tikrą vertę ilgą laiką, kai kurioms dujoms medžiagos nėra paverčiamos kietomis medžiagomis normalioje temperatūroje ir nėra nusodinamos siurbliuose, todėl gali būti laikomasi specialaus proceso, pavyzdžiui, ėsdinimo, reikalavimų.